第1章 硅片的制备 第一讲 作业
1、 在硅片晶向、掺杂类型介绍中,由硅片断裂边形成的角度是60º可知硅片是什么晶向?
A:(100)
B:(111)
C:(110)
D:(211)
答案: (111)
2、 磷在硅熔体与晶体中的分凝系数约为0.35,这使得液相掺杂拉制的掺磷硅锭的电阻率:
A:轴向均匀
B:轴向递减
C:轴向递増
D:径向递减
答案: 轴向递减
3、 关于拉单晶时进行的缩颈步骤,下面的说法那种正确
A:可以多次缩